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LTCC是将低温烧结陶瓷粉制成厚度准确致密的生瓷带。采用激光打孔、微孔灌浆、精密导浆印刷等工艺，将多个无源设备嵌入压力下，在1000℃以下烧结，表面可安装IC和主动器件，形成LTCC无源/有源集成功能模块。LTCC的可靠性难点很多，影响着多层金属化布线的质量，基材与接线共烧时的收缩和热膨胀系数的匹配问题就成为研究的重点。LTCC共烧过程中，基底与浆料的烧结特性不匹配主要表现在三个方面：①烧结致密化完成温度不一致；②基材与浆料烧结收缩率不一致；③烧结致密化速度不匹配。这种不匹配易造成烧成后表面不平整、翘曲等问题，随之而来的是分层和金属布线粘合强度降低，所以LTCC需要使用激光翘曲度测量仪进行翘曲度测量，保证其功能性。
如果还是使用百分表、塞尺一类工具施以外力LTCC陶瓷工件就会很容易断裂，极志激光平面度测量仪属于非接触式测量，保护LTCC陶瓷工件免受划痕或者断裂等瑕疵的困扰。多激光平面度测量仪可以一次多工件快速测量，高精度无损测量的同时还具有快速的特性，缓解工厂的生产压力。除此之外，还可实现对平面的多点扫描或线扫描，一次性数据采集后通过软件计算，实时给出平面度平整度、翘曲度误差测量判定，将人性化与智能直接展现在LTCC陶瓷工件翘曲度的测量上。
极志有多年的工件平面度、翘曲度、平整度等外形尺寸测量设备定制经验，可为您的工件定制专用设备，如有需求欢迎致电极志全国服务热线：020-83515319
