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硅片作为芯片的基材，其制备工艺的高低就足以影响芯片封装等一系列后续工序，所以硅片的光洁度要求极高，否则稍有严重一点的瑕疵都会导致芯片报废。硅片的瑕疵可以大致分为几类：线痕、崩边、碎片、裂纹、孔洞、孪晶、亮线、油污、脱落、锯痕、台阶等等，每一样外观瑕疵都是由制作工艺所导致，只有通过外观检测才能察觉并进行对应工艺的改进。传统的硅片检测都是靠人工在显微镜下一片片仔细观察得知，对于稍微严重的瑕疵能很好的观察，细微的瑕疵则容易因为检测人员的质素不同而出现漏检、误检等等，整个检测工序严重受环境因素所影响，所以硅片瑕疵检测使用自动瑕疵检测仪才会更加得心应手。
硅片瑕疵自动检测仪采用高清成像技术和的机器视角算法，将硅片表面轮廓生成出彩色图像在经由算法匹配来获得精确的检测结果，整个过程可以自己调整检测精度的范围，系统会自行判定OK或是NG。瑕疵检测仪可将检测硅片各类瑕疵一并完成，实现一机多用，而且本设备采用的是流水线设计，连接生产传送带后就能实现自动化检测，无论是静止状态还是快速流水线通通适用，帮助硅片制造企业快速检测产品瑕疵解决漏检以及效率问题。
极志瑕疵检测系统可根据需求进行配置的更改以及尺寸的定制，如果您的工件有瑕疵检测的需求欢迎致电极志全国服务热线：020-83515319
