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光罩是高精密度的石英平板，是用来制作晶圆上电子电路图像，以利集成电路的制作。光罩必须是完美无缺，才能呈现完整的电路图像，否则不完整的图像会被复制到晶圆上。传统的瑕疵检测方式对于光罩等一类高新科技工件显得力不充心，人工瑕疵检测方式效率低且容易出现漏检错检等问题。光罩瑕疵检测仪则是结合影像扫描技术与先进的影像处理技术，捕捉图像上的缺失。 当光罩从一个制程往下个制程进行时，瑕疵检测系统可用来检测出晶圆上是否有瑕疵包括有微尘粒子、断线、短路、以及其它各式各样的问题。
光罩瑕疵自动检测仪采用高清成像技术和的机器视角算法，将光罩表面轮廓生成出彩色图像在经由算法匹配来获得精确的检测结果，整个过程可以自己调整检测精度的范围，系统会自行判定OK或是NG。瑕疵检测仪可将检测光罩各类瑕疵一并完成，实现一机多用，而且本设备采用的是流水线设计，连接生产传送带后就能实现自动化检测，无论是静止状态还是快速流水线通通适用，帮助光罩制造企业快速检测产品瑕疵解决漏检以及效率问题。
极志瑕疵检测系统可根据需求进行配置的更改以及尺寸的定制，如果您的工件有瑕疵检测的需求欢迎致电极志全国服务热线：020-83515319
